激光干涉仪可以完成哪些测量(激光干涉仪原理)

激光干涉仪可以完成哪些测量(激光干涉仪原理)

激光干涉仪可以完成精密的长度、位移、形变和表面形貌等测量。其原理是利用激光干涉现象，对待测物体发射激光，经过光路干涉，再检测到反射光并比较与源光的差异，通过计算得出待测物体的参数。激光干涉仪广泛应用于制造业、航空航天、精密机械等领域中的精密测量、质量检测和工艺控制等方面。

激光干涉仪可以完成哪些测量(激光干涉仪原理)-第1张图片-

激光干涉仪的介绍

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试 *** ，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。

激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

英文名称：laser interferometer（激光干涉仪）

激光干涉仪一般采用进口高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现快速(约6分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出；采用高精度环境补偿模块、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量；结合相应镜组还能实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的测量，并进行静态测量和动态测量分析。

SJ6000激光干涉仪具有测量精度高，可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数，可以手动或自动选择环境补偿。激光干涉仪测量记录可按照被测物件类型、生产单位、编号、检定员、送检单位、检定日期、设备编号和有效日期等查询和管理检定结果，并可以将数据打印成文档或者表格的形式。